晶圆生产完成后，需要对其进行各种参数的检测，在检测的过程中，需要在不同温度下进行测试，晶圆测试用温控设备（晶圆测试温控系统）是高精度，高分辨率，高稳定性的控制设备。

PTXF半导体温控系统基于高级动态控制系统，同时采用进口铂电阻温度传感器，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产品生产的稳定性。

载物Chuck高低温测试机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。

DLS载物台控温系统采用PID控制技术，高清液晶屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

PTHC探针台高低温设备采用全密闭式系统设计，整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔，导热油不会直接与空气接触，延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性

PTHF探针台控温设备采用管道式加热冷却，参与循环的液体非常少，制冷采用板式换热器，加热采用管道式法兰加热器，整个系统的容积（板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积）。