芯片半导体专用冷水机

设备简介

PTHC系列高低温动态控温系统主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

设备特点

全密闭系统：采用全密闭式系统设计，整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔，导热油不会直接与空气接触，延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性，膨胀油箱始终保持在常温状态，高温时无油雾产生，低温不会结霜。

控温系统：自主开发的温度控制模块，改变控制设定的方法，能够尽快的响应过程中系统的滞后，得到最小的温度过冲。控制由两组PID（每组PID是可变的）控制回路构成，这两组控制回路成为主回路和从回路，主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统采用带有前馈PV，主控回路的PID运行结果的输出与前馈PV信号复合后作为主控回路的设定值，通过这样对温度变化进行梯度控制，保证系统的温度精度。

高效换热系统：系统采用管道式加热冷却，参与循环的液体非常少，制冷采用板式换热器，，换热效率高、结构紧凑，加热采用管道式法兰加热器，整个系统的容积（板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积）。

控制重复性：基于高级动态控制系统，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产品生产的稳定性。

产品外观：外观设计吸取国外进口产品的设计理念，采用大口径石英玻璃液位计，液位计与操作屏放在同一侧，观察方便，风格简约时尚，比列协调，专有的色彩搭配。

超高温降温技术：采用超高温降温技术，可以满足在300℃高温直接开启压缩机制冷降温。

质量保障：所有的关键部件均选用进口品牌，确保产品长时间可靠运行。同时所有产品发货前均经过严格测试与检验，确保设备到客户现场不会出现任何问题。

普泰克温控系列

低温气体降温制冷设备
冷气制冷机
气体冷却器
气体降温设备
气体降温制冷机
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半导体测试冷气机
半导体测试低温冷却装置 
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探针台气体冷却温控系统
晶圆测试气体温控设备
晶圆气体冷却设备
半导体测试国产替代温控设备
晶圆测试国产替代控温设备
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制冷型低温制冷机
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直冷型低温制冷机
直冷式低温制冷机
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